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AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀

簡要描述:AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀集原樣進(jìn)樣檢測、自動稀釋等全自動檢測功能于一身,為用戶提供可方便、快捷、高效、可靠的粒徑分析。FX系列Z小可以測試計數(shù)到150nm,濃度高達(dá)10million個/mL的樣品??梢詽M足蛋白質(zhì)聚集和高濃度slurry的測試要求,是PSSZ全能性的顆粒計數(shù)器系列產(chǎn)品。

  • 更新時間:2025-02-27
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 產(chǎn)品型號:PSS AccuSizer FX
  • 訪  問  量:5222
詳情介紹

AccuSizer® A9000 FXnano聚焦光束納米顆粒計數(shù)器

型號AccuSizer® A9000 FXnnano        
檢測范圍0.15-200μm        
計數(shù)濃度1012個/ml        
AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀    

AccuSizer A9000 FXnano-AD納米顆粒計數(shù)器具有高靈敏度,高分辨率,64個數(shù)據(jù)通道的特點。其在A7000系列顆粒計數(shù)器的基礎(chǔ)上進(jìn)行了核心技術(shù)升級。A7000系列可以檢測到0.5μm的顆粒,最高濃度上限為10000顆/ml,超過此濃度,液體中粒子就會有重合現(xiàn)象,造成檢測結(jié)果不準(zhǔn)。A9000 FX系列開創(chuàng)新的解決問題的思路,使測量背景即使不太干凈,也可以得到精確的結(jié)果,從而使得重合限不再是限制液體顆粒計數(shù)器的因素,從而實現(xiàn)對高達(dá)百萬級高濃度的樣本的檢測。 相似于A7000的解決方案,A9000 FXnano引入了光散的信號,從而可以使檢測的下限擴(kuò)展到0.15μm(150nm)。

AccuSizer A9000納米顆粒計數(shù)器在檢測液體中的納米級顆粒數(shù)量的同時精確測量顆粒的粒度及粒度分布,通過真實精細(xì)的分布結(jié)果,廣泛服務(wù)于CMP研磨液、納米氣泡、過濾、墨水、新材料等領(lǐng)域。尤其在CMP Slurry(研磨液,拋光液)的大粒子(LPC)的控制中。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

AcuSizer A9000 FXnano-AD
聚焦光束納米顆粒計數(shù)器

檢測范圍:0.15μm - 200μm

樣品濃度: 1012個/ml

采用光學(xué)聚焦技術(shù),對納米級別的微粒進(jìn)行顆粒計數(shù),加載自動稀釋模塊,對濃度樣本進(jìn)行檢測,在半導(dǎo)體研磨液(Slurry)中大量采用。

應(yīng)用: 制程CMP研磨液,納米氣泡,過濾等。

產(chǎn)品優(yōu)勢

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        
           
           
           

①進(jìn)樣器: 全自動進(jìn)樣系統(tǒng),測樣過程安全、簡單、快捷配備不同型號的注射器,拆卸方便。

②主機: 多數(shù)據(jù)通道計算實現(xiàn)儀器的高分辨率、高靈敏度。

③傳感器: 獨立安裝,方便拆卸,既有利于維護(hù)維修,也便于更換其他型號傳感器。

④模塊化設(shè)計: 大大增強維修的便宜性和預(yù)留將來升級維護(hù)的空間。

原生高濃度設(shè)計

A7000/A9000系列顆粒計數(shù)器專為高濃度樣本的檢測提供解決方案。其設(shè)計理念特別適合高濃度樣本,搭配自動稀釋模塊更是可以檢測濃度高達(dá)1012#/mL的樣本。

A7000/A9000 系列顆粒計數(shù)器(分別對應(yīng)LE\FX\FXnano傳感器)測試數(shù)據(jù)結(jié)果匯總

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀    

A7000 APS結(jié)果圖(LE傳感器)
濃度高達(dá):3.72E+007顆/mL        

A9000 FX結(jié)果圖(FX傳感器)
濃度高達(dá):4.80E+008顆/mL        

A9000 FX nano結(jié)果圖(FX nano傳感器)
濃度高達(dá):3.15E+008顆/mL        

計數(shù)效率高
High counting efficiency

顆粒計數(shù)器的計數(shù)效率主要體現(xiàn)在兩個指標(biāo)上: 單位時間內(nèi)可計數(shù)的總數(shù)和重復(fù)性(統(tǒng)計學(xué)意義)A7000系列顆粒計數(shù)器可以在短時間內(nèi)快速計數(shù)大量粒子,其優(yōu)秀的硬件和軟件設(shè)計為數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性提供了有利保障。

A9000 FXnano 測試3次數(shù)據(jù)結(jié)果匯總表


測試得到的樣品濃度(單位:顆/mL)
第一次測試3.15E+08
第二次測試2.89E+08
第三次測試2.85E+08
RSD5.50%

A9000 FXnano 測試3次數(shù)據(jù)譜圖結(jié)果匯總AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀            

從測試結(jié)果數(shù)據(jù)看,使用A9000 FXnano測試的亞微米標(biāo)準(zhǔn)粒子,其樣品濃度約為3.0E+08顆/mL,樣品濃度三次測試結(jié)果的RSD為5.5%。充分說明了A9000FXnano在測試高濃度樣本時結(jié)果真實有效。


   

主要應(yīng)用

AccuSizer A9000系列(FX和FXnano)是一臺全自動用于高濃度樣本的納米液體顆粒計數(shù)器,其適用的超高濃度樣本濃度可以達(dá)到1×106個/ml。其主要用于如下領(lǐng)域:

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

CMP制程

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

墨水

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

乳劑

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

分散體

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

醫(yī)藥注射劑(蛋白注射液)

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

穩(wěn)定性分析

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

研磨液(拋光液)

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

多聚物

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

納米顆粒


檢測原理

聚焦光束納米計數(shù)技術(shù)
Focus Beam

傳統(tǒng)的液體顆粒計數(shù)器,尤其是低下限到瑞利散射(Rayleigh’s Law)區(qū)的非常小的粒子,如果要探測到相應(yīng)的信號,要解決的問題主要有兩個:
問題1:光信號不足;問題2:如何聚焦到如此窄的粒徑范圍。
要想解決這個問題,理論上我們需要能量非常高的激光。但是在現(xiàn)實中,往往很難達(dá)到理論上的要求。由此,Entegris(PSS)的科學(xué)家研發(fā)出了FX系列(A9000系列)傳感器。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

聚焦光束計數(shù)技術(shù)(Focused Extinction)原理圖

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

聚焦光束納米技術(shù)(Focus Beam)原理圖

激光光束垂直透過流動樣品池,當(dāng)顆粒經(jīng)過光感區(qū)域時會形成遮擋,使得光信號強度衰減,光阻檢測器檢測到光強信號的變化。

聚焦的激光光束垂直透過流動樣品池,當(dāng)粒子自由通過樣品池的光感區(qū)域時發(fā)生光散射,散射光將通過散射透鏡聚焦在光散射檢測器上,產(chǎn)生脈沖信號,檢測器將脈沖信號轉(zhuǎn)換成相對應(yīng)的粒徑大小。

AccuSizer A9000FX系列液體顆粒計數(shù)器采用創(chuàng)新的基于光阻法的聚焦光束納米計數(shù)技術(shù)(Focus Beam),其在傳統(tǒng)LE光阻傳感器(Light Extinction)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)和變革,解決了傳統(tǒng)光阻法傳感器對于液體濃度要求苛刻的限制,可檢測的原液濃度高,配合稀釋,可以檢測更高濃度的樣本。

A9000系列數(shù)據(jù)展示(一)

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀

上圖分別是在LG模式下測得的0.3μm,0.34μm,0.5μm,0.6μm的標(biāo)?;旌蠘颖竞蟮慕Y(jié)果。從圖中可以看到,A9000 FXnano可以很輕松的將上述5中標(biāo)粒區(qū)分開,而且能夠給出顆粒的濃度(數(shù)量/mL)。

A9000系列數(shù)據(jù)展示(二)- 多通道

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀

上圖中可以看清晰看到,A9000 FXnano系列將不同大小的粒子的數(shù)量清晰明了的呈現(xiàn)出來了,而且通道劃分得越小越細(xì)。

自動稀釋
Automatic dilution

傳統(tǒng)的單顆粒傳感技術(shù)在樣品濃度過高的情況下會出現(xiàn)“重合限" 問題。Entegris(PSS)專為高濃度樣本的檢測開發(fā)出自動稀釋,該方法可將超高濃度樣品稀釋至目標(biāo)濃度,減少人工稀釋的試錯成本、時間成本和誤差。計算機系統(tǒng)根據(jù)稀釋因子自動還原樣品的原始顆粒濃度,解決了高濃度樣品的檢測難題。時至今日,Entegris(PSS)單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS),在醫(yī)藥、半導(dǎo)體、新材料等新興領(lǐng)域發(fā)揮了作用。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀

自動稀釋原理圖


技術(shù)優(yōu)勢

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

分辨率是指分辨相鄰顆粒大小的能力。Entegris(PSS)的SPOS技術(shù)可以提供多達(dá)1024個數(shù)據(jù)通道。得益于此,在檢測量程范圍內(nèi),可對粒徑大小進(jìn)行更加精細(xì)的劃分,可達(dá)到0.01μm精度的超高分辨率。展現(xiàn)出更真實的顆粒分布情況,為研發(fā)和質(zhì)控提供更精確的數(shù)據(jù),為研發(fā)保駕護(hù)航。
如右圖所示,為0.8μm、1μm、2μm、5μm、10μm、20μm混合標(biāo)粒所得到的結(jié)果。5個主峰清晰可見。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

圖3-3 超高分辨率

多通道的優(yōu)勢
512 Channel

如下圖所示,這是0.8μm、2μm、5μm的混合標(biāo)粒在8通道,16通道,512通道下不同的圖譜??梢钥吹?,在8通道下只有一個峰,粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之間。在16通道下,可以看到2個峰,一個峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之間,另外一個峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之間。切換到512通道,可以明顯看到3個主峰,分別是0.8μm、2μm和5μm。
在低通道的模式下,由于數(shù)據(jù)不夠精確,容易導(dǎo)致誤判。通道數(shù)變多,能夠更準(zhǔn)確反映出樣品的真實情況。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

8通道

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

16通道

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

512通道

10PPT等級的超高靈敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

靈敏度高達(dá)10PPT級別,緊緊抓住納米顆粒分布的“小尾巴",哪怕只有痕量的顆粒通過傳感器,也可以精準(zhǔn)檢測出來。在實際的生產(chǎn)和研發(fā)中,往往是極少數(shù)的顆粒決定了整個體系的質(zhì)量和穩(wěn)定性,如半導(dǎo) 體CMP制程所用研磨液(Slurny)、注射用乳劑中大乳粒(>5um,PFAT5)等。高靈敏度的傳感器,才能確保檢測結(jié)果更接近真實結(jié)果,助力于找到問題的真正根源和“罪魁禍?zhǔn)?。

A7000系列單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)檢測結(jié)果VS激光衍射儀(LD)檢測結(jié)果

左圖為使用SPOS技術(shù)測得的粒度分布圖譜,右圖為使用激光衍射法(LD)技術(shù)測得的粒度分布圖譜。左圖為3.41微升的1微米PSL標(biāo)粒分散于250毫升氧化硅中的PSD圖譜,右上圖為177微升同樣的標(biāo)粒分散于同體積氧化硅,右下圖為360微升同樣的標(biāo)粒分散于4.3mL的氧化硅中。
由圖譜可以看出:盡管將濃度提高52倍(如右上圖所示),LD不能將不同組分進(jìn)行區(qū)分;將濃度提高約6000倍(如右下圖所示),方能看出有尾端大粒子存在。這充分說明SPOS技術(shù)比LD的靈敏度顯著提升約6000倍。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀


技術(shù)優(yōu)勢

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

分辨率是指分辨相鄰顆粒大小的能力。Entegris(PSS)的SPOS技術(shù)可以提供多達(dá)1024個數(shù)據(jù)通道。得益于此,在檢測量程范圍內(nèi),可對粒徑大小進(jìn)行更加精細(xì)的劃分,可達(dá)到0.01μm精度的超高分辨率。展現(xiàn)出更真實的顆粒分布情況,為研發(fā)和質(zhì)控提供更精確的數(shù)據(jù),為研發(fā)保駕護(hù)航。
如右圖所示,為0.8μm、1μm、2μm、5μm、10μm、20μm混合標(biāo)粒所得到的結(jié)果。5個主峰清晰可見。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

圖3-3 超高分辨率

多通道的優(yōu)勢
512 Channel

如下圖所示,這是0.8μm、2μm、5μm的混合標(biāo)粒在8通道,16通道,512通道下不同的圖譜??梢钥吹?,在8通道下只有一個峰,粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之間。在16通道下,可以看到2個峰,一個峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之間,另外一個峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之間。切換到512通道,可以明顯看到3個主峰,分別是0.8μm、2μm和5μm。
在低通道的模式下,由于數(shù)據(jù)不夠精確,容易導(dǎo)致誤判。通道數(shù)變多,能夠更準(zhǔn)確反映出樣品的真實情況。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

8通道

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

16通道

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀        

512通道

10PPT等級的超高靈敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

靈敏度高達(dá)10PPT級別,緊緊抓住納米顆粒分布的“小尾巴",哪怕只有痕量的顆粒通過傳感器,也可以精準(zhǔn)檢測出來。在實際的生產(chǎn)和研發(fā)中,往往是極少數(shù)的顆粒決定了整個體系的質(zhì)量和穩(wěn)定性,如半導(dǎo) 體CMP制程所用研磨液(Slurny)、注射用乳劑中大乳粒(>5um,PFAT5)等。高靈敏度的傳感器,才能確保檢測結(jié)果更接近真實結(jié)果,助力于找到問題的真正根源和“罪魁禍?zhǔn)?。

A7000系列單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)檢測結(jié)果VS激光衍射儀(LD)檢測結(jié)果

左圖為使用SPOS技術(shù)測得的粒度分布圖譜,右圖為使用激光衍射法(LD)技術(shù)測得的粒度分布圖譜。左圖為3.41微升的1微米PSL標(biāo)粒分散于250毫升氧化硅中的PSD圖譜,右上圖為177微升同樣的標(biāo)粒分散于同體積氧化硅,右下圖為360微升同樣的標(biāo)粒分散于4.3mL的氧化硅中。
由圖譜可以看出:盡管將濃度提高52倍(如右上圖所示),LD不能將不同組分進(jìn)行區(qū)分;將濃度提高約6000倍(如右下圖所示),方能看出有尾端大粒子存在。這充分說明SPOS技術(shù)比LD的靈敏度顯著提升約6000倍。

AccuSizer FX-Nano 集束計數(shù)粒徑檢測儀


儀器參數(shù)    

型號A9000 FXnano-AD
分析方法及原理基于光阻法的可聚集光束原理+單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)
檢測范圍標(biāo)準(zhǔn)配置0.15μm - 200 μm
樣品類型水相
通道數(shù)量64
自定義通道數(shù)量32
粒徑準(zhǔn)確性≥95%
流速范圍15mL/min
最小進(jìn)樣量200µL
取樣方式手動/自動
取樣環(huán)標(biāo)配:0.3mL/0.5mL/1mL/3mL
稀釋方式自動稀釋
樣品極限濃度1012個/mL
樣品混合池11.3mL
稀釋劑超純水
攪拌器
磁力攪拌模塊                
分析軟件及操作系統(tǒng)
支持系統(tǒng)Windows 7 及以上此操作系統(tǒng)
實驗室研發(fā)軟件                
符合21CFR Part11規(guī)范的法規(guī)分析軟件/
電源選項220-240VAC 50Hz 或 100-120VAC 60Hz
外形尺寸數(shù)據(jù)處理器:48cm*36cm*19cm
進(jìn)樣器:49cm*28cm*57cm
重量約41kg

注:以實際樣品為準(zhǔn)標(biāo)配,隨箱自帶選配,單獨購買



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